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DC–Sputterstromversorgungen GSW 100 – GSW 300

Die Ausgangsleistung kann im Parallelbetrieb bis auf 240kW gesteigert werden. Mit einem speziellen Schaltungskonzept kann auf eine "Master-Slave-Verdrahtung" verzichtet werden. Eine leistungsfähige Wasserkühlung sorgt auch in nicht klimatisierten Räumen für höchste Zuverlässigkeit. Die Geräte können manuell über ein aktives Frontpanel oder über eine Schnittstelle betrieben werden. Es stehen verschiedene Frontpanels und Schnittstellenmodule zur Verfügung. Das extrem schnelle Arc-Handling arbeitet vollautomatisch und benötigt auch im Parallelbetrieb keine externe Synchronisation.
  • Ausgangsleistung 10 – 30kW
  • Wasserkühlung
  • 19"-Gehäuse, 3 HE
  • Magnetventilsteuerung
  • Potentialfreier Ausgang
  • Parallelbetrieb bis 240kW
  • Automatisches Arc-Handling