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Mittelfrequenz und Bipolar Pulsgenerator SB 300

Der Bipolar Pulsgenerator SB 300 kann sowohl als Mittelfrequenz-Generator zur Erzeugung eines symmetrischen Wechselstroms, als auch als Bipolarpulser für asymmetrische Rechteckimpulse verwendet werden. Mit einer speziellen Leistungsquotientenreglung kann die Targetlebensdauer für Dual-Magnetrons exakt symmetriert werden. Es können auch zwei unterschiedliche Targetmaterialien mit asymmetrischen Pulsleistungen geregelt werden. Der Qotientenregler stellt die Pulszeiten über eine Pulsbreitenmodulation (PWM) automatisch ein. Das Gerät arbeitet mit einer fest eingestellten Frequenz von 20kHz. Der Generator verfügt über eine automatische Arc-Unterdrückung. Die Parameter für Triplevel und Pausenzeiten werden automatisch an den jeweiligen Prozess angepasst. Die übliche Programmierung durch den Benutzer ist nicht erforderlich! Mehrere Generatoren können über Steuerleitungen für eine Synchronisation verbunden werden. Die Geräte schalten dabei automatisch auf externe Synchronisation.
  • Ausgangsleistung 30kW, AC
  • Kombination von Geräten im Master/Slave- oder Parallelbetrieb bis 240kW möglich
  • Ratio Power Controller
  • Automatische Synchronisation
  • Wasserkühlung
  • Sehr kompakte Bauweise
  • Potentialfreier Ausgang
  • Modulares Baukastensystem erlaubt die Kombination der HX (DC) mit einem unipolar Pulsgenerator (SD) oder einem bipolar Pulsgenerator (SB)
  • Kompaktes ½ 19“ Design
  • Bipolar Pulsgenerator mit PWM-Regelung garantiert absolut symmetrischen Sputtern!
  • Exzellentes super schnelles und vollautomatisches Arc-Management
  • Prozessreproduzierbarkeit: besser als 1-2%