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Bipolar Pulsgeneratoren Anwendungen
Gerätekombinationen DC + Bipolar Pulsgeneratoren_012022 (187.51 KB)Die bipolaren Pulssysteme von ADL eignen sich hervorragend zur Erzeugung transparenter, antireflex-, oder transparent leitfähiger Wechselschichten von reaktiven Prozessen für die Großflächenbeschichtung auf Kunststoff, Glas oder R2R.
Zum Einsatz kommen diese Gerätekombinationen einzeln oder als parallelgeschaltetes Paket im Schaltschrank für kleine (GXB 50), mittlere (GX + SB 150) oder große Leistungen (HX + SB 350). Sie sind perfekt geeignet für Architekturglas, Solarzellen und Folien, bei denen es auf niedrigste ARC-Energien, und höchste Prozessstabilität ohne Crazing ankommt.
Highlights
- Bipolar voll reaktive Beschichtungsprozesse wie SIO2, AI3N4, AI2O3, TIO2
- Für Kathoden bis 4 m Länge
- Exzellente Prozesskontrolle für semi-oxidierte
Targets, z. B. TiOx, NbOx… - Absolut symmetrisches und asymmetrisches Sputtern mit automatischer PWM-Regelung
- Super schnelles und vollautomatisches Arc-Management
Beispiel für die Kombination von vier HX (DC) mit vier Bipolar Pulsgeneratoren (SB) im modularen Baukastensystem.
Kontakt
ADL Analoge & Digitale Leistungselektronik GmbH
Bunsenstraße 30
64293 Darmstadt
Deutschland
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