Produkte & Zubehör Stromversorgungen für Ionenquellen

Datenblatt Stromversorgungen für Ionenquellen_012022 (395.6 KB)

Für den Betrieb von Ionenquellen (Kaufmann und ECR) stehen verschiedene Spezialgeräte zur Verfügung, die auf Anfrage auch mit anderen Ausgangsspannungen oder Leistungen angeboten werden können. Alle Geräte sind wahlweise mit einer AS 4 – Schnittstelle, Profibus, EtherCat oder RS232/485 ausgestattet.

          Highlights

            Große Einsatzmöglichkeiten bei Ionenstrahl- und Plasmaprozesstechnologien
Ätzen, Sputtern und viele mehr
Innovative Anwendungen, unter anderem in der Mikroelektronik, Optik, Sensoren