Das ADL Pulssystem - Unipolar Sputtern

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Unipolar Pulsgeneratoren: Für Arc-kritische und teilweise reaktive Prozesse

Bessere und reproduzierbare Beschichtungen

DC-Stromversorgungen (HX/GX/GS) können mit einem unipolar Pulsgenerator (SD) über die Schnittstelle X4P kombiniert und die Anlage somit flexibel mit DC oder wahlweise unipolar Puls betrieben werden. Die Synchronisation mehrerer Geräte im Master/Slave- oder Parallel-Betrieb ist bis zu 240 kW möglich. Das kompakte Design der Pulsgeneratoren von ½ 19“ Design erlaubt den direkten Einbau an der Vakuumkammer!

Wie alle ADL-Stromversorgungen sind auch die Pulssysteme wartungsfrei, sie fallen extrem selten aus und bieten durch geringste Folgekosten ein Preis-/Leistungsverhältnis, das absolut konkurrenzfähig ist.

Unipolar Pulsgeneratoren, links SD 30, SD 150 und SD 151, Mitte: SD 300, SD 301 und SD 351, rechts HXD 901 - HXD 1401
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